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    卷繞式濺射設備SPW系列

    SPW系列卷繞式濺射設備，可用于在塑料薄膜上制造光學膜、金屬膜等多層膜。實施成膜腔體內的氣氛分離，高功能多層膜可一氣成型。

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    批次式濺射設備SV系列

    SV系列是立式批次濺射設備。是一種圓盤型可大量處理基板的設備。

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    Load-lock式濺射設備CS-200

    Load-Lock式濺射設備CS-200從研究開發到小規模生產都可以對應。

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    SMD 系列是鍍金屬膜、ITO、IGZO、誘電體膜等的枚葉式濺射鍍膜設備。僅SMD系列就有超過1000臺的豐富的采用實績，在各種各樣的生產環境下運轉。及時反映從生產現場聽取的意見，進一步提高設備的可靠性

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