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干泵LS系列
愛發科擁有品類十分齊全的干泵、油泵、低溫泵、分子泵等等,并提供各種泵的問題診斷和維修服務。
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真空計
真空計
皮拉尼真空計 G-TRAN系列
包含了從大氣壓開始到真空為止測定的皮拉尼真空計。變送器型真空計是采用傳感器和計量回路一體設計(也有分離型),實現省裝置成本,省安裝空間,省配線的目的。
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檢漏儀
檢漏儀
檢漏儀HELIOT 900系列
愛發科的檢漏儀是可對應He檢漏的全部需求的全自動檢漏裝置。
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真空搬運機械手
真空搬運機械手
真空搬送機械手ELEC-RZ
愛發科作為技術和經驗豐富的真空器械廠家,愛發科的真空機械手是一種具有潔凈且信賴性高的搬送平臺。
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軟件
軟件
設備診斷系統 FABISEQ
通過FABISEQ可采集工藝設備的數據,在軟件上進行圖表顯示。通過設備數據的可視化,可調查發生不良的原因和經過,實現工藝安定性的觀察
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光學工藝模擬器
光學工藝模擬器
光學工藝模擬器Optius
通過測定等離子體的發光圖線,可實時監視各種各樣的等離子體工藝的狀況。最適用于反應性濺射的MFC控制和刻蝕的終點檢出等。
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