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• CVD設(shè)備
  • 縱向式Cat-CVD設(shè)備CCV系列
    縱向式Cat-CVD設(shè)備CCV系列

    CCV系列

    CCV Series是a-Si鍍膜用的縱向式CVD設(shè)備。有30年以上的量產(chǎn)實(shí)績(jī)。在各個(gè)chamber通過低壓鍍膜，得到高品質(zhì)的膜質(zhì)。

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  • 枚葉式PECVD設(shè)備CME-200E/400
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    CME-200E/400

    枚葉式PE-CVD設(shè)備CME-200E/400是適用于Si系絕緣膜、barrier膜等成膜的量產(chǎn)用PECVD設(shè)備。

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  • Load-lock式Plasma CVD設(shè)備 CC-200/400
    Load-lock式Plasma CVD設(shè)備 CC-200/400

    CC-200/400系列

    Load-lock式Plasma CVD設(shè)備CC-200/400是小型的使用便利的可對(duì)應(yīng)從研究開發(fā)到量產(chǎn)的設(shè)備。

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  • 枚葉式等離子CVD設(shè)備CMD系列
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    CMD系列

    CMD系列是用SiH4和TEOS成膜的a-Si膜、氧化硅膜、氮化膜成膜用的枚葉式CVD設(shè)備。

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