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  • 濺射鍍膜設(shè)備SMD系列（立式）
    濺射鍍膜設(shè)備SMD系列（立式）

    SMD系列

    SMD 系列是鍍金屬膜、ITO、IGZO、誘電體膜等的枚葉式濺射鍍膜設(shè)備。僅SMD系列就有超過(guò)1000臺(tái)的豐富的采用實(shí)績(jī)，在各種各樣的生產(chǎn)環(huán)境下運(yùn)轉(zhuǎn)。及時(shí)反映從生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)聽(tīng)取的意見(jiàn)，進(jìn)一步提高設(shè)備的可靠性。

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  • 有機(jī)EL成膜設(shè)備SOLCIET, SATELLA, ZELDA系列
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    SOLCIET, SATELLA, ZELDA系列

    ULVAC面向有機(jī)EL材料開(kāi)發(fā)提供實(shí)驗(yàn)用設(shè)備系統(tǒng)到量產(chǎn)Cluster系統(tǒng)設(shè)備和Inline系統(tǒng)設(shè)備。

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    卷繞式濺射設(shè)備SPW系列

    SPW系列

    SPW系列設(shè)備，是可在塑料薄膜上進(jìn)行光學(xué)膜、金屬膜等多層成膜的卷繞式設(shè)備。實(shí)施成膜室間的氣氛分隔，可以使高性能的多層膜一次性成膜。
    

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  • 縱向式Cat-CVD設(shè)備CCV系列
    縱向式Cat-CVD設(shè)備CCV系列

    CCV系列

    CCV Series是a-Si鍍膜用的縱向式CVD設(shè)備。有30年以上的量產(chǎn)實(shí)績(jī)。在各個(gè)chamber通過(guò)低壓鍍膜，得到高品質(zhì)的膜質(zhì)。

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