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    油回轉泵

    油回轉泵VD系列VerC

    油回轉真空泵，使用真空泵油使得旋轉部分非常潤滑，真空密封性很高，可實現比較高的排氣性能。具有價格便宜、緊湊、安裝簡便等特點。單個油回轉真空泵容易獲得真空，具有優良的經濟性和操作性。

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    油擴散泵

    油擴散泵

    ULVAC的ULK型油擴散泵，是在長年的研究和豐富的制造經驗的基礎上設計的。是一種按臨界背壓較大來設計的小型高真空排氣泵。

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    渦輪分子泵

    控制器一體型渦輪分子泵

    渦輪分子泵是在分子流領域排氣速度一定，可進行連續排氣。此外，不需要再生等保養作業，對H、He可實現非常高的排氣性能。

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    低溫泵

    低溫泵CRYO-U6H

    低溫泵是將氣體分子在極低溫度面凝縮，通過吸附排出所有氣體。（特別是水分的排氣能力特別高）。真空容器內無物體動作，不使用油，可以獲得清潔的真空。和吸附方式的泵一樣，排氣速度非常大是其顯著特點。

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    干泵

    干泵LR-HR-UR系列

    干泵不使用油或者液體，所以真空腔體內可獲得潔凈的真空。從大氣壓到到大壓力可大范圍應用。

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    機械增壓泵

    機械增壓泵PMB系列Ver. D

    通過機械增壓泵、油回轉泵、干泵等的粗泵組合，在粗泵排氣速度下降的壓力領域，可大幅提高排氣速度。

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    濺射離子泵

    濺射離子泵

    離子真空泵，由陽極和陰極構成的泵單元中，由于增加電場的簡單原理，沒有機械振動和噪音等可獲得超·極高真空。

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    鈦升華泵

    鈦升華泵GGT系列

    鈦升華泵，利用鈦的升華作用可獲得超高真空。和離子泵一起并用，可以獲得極高真空。

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