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• IGZO靶材
  

  ULVAC制造和銷售IGZO TAOS（使用In，Ga，Zn，O透明Amorphous氧化物半導體）中使用的IGZO靶。 為了抑制particle，靶材的高密度化?減少靶材的分割數量，正在向全球大多數顯示器制造商提供高質量的IGZO靶材，IGZO用濺射設備和IGZO工藝。 此外，ULVAC成功開發出長度約為3米的大型IGZO靶材。 期待這個大型的IGZO靶材將徹底解決TFT特性的劣化。

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  • 產品特性 / Product characteristics

  • • 高密度化，分割數減少提高了靶材了品質

    • 減少particle 較穩定的膜特性
    •       可在大型量社別上進行批量生產
    • 可提供長度為3m的大型IGZO靶材
        
  • 產品應用 / Product application
  • 產品參數 / Product parameters
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