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• 電源
  • HPS系列
    HPS系列

    HPS系列

    基于愛發(fā)科多年的技術(shù)積累和成果，該電源兼容電子束蒸發(fā)源，可穩(wěn)定電路并提高性能。當(dāng)與 EGC-10GS 電子束槍控制器結(jié)合使用時，它可用于光學(xué)薄膜電子束槍和金屬薄膜電子束槍。

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  • EGO系列
    EGO系列

    EGO系列

    這款高度可靠的 EB 噴槍基于 ULVAC 多年的技術(shù)，專為光學(xué)領(lǐng)域而開發(fā)。

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  • EGN 系列
    EGN 系列

    EGN 系列

    EGN 系列是新開發(fā)的金屬氣相沉積電子束蒸發(fā)源，專注于提高可維護(hù)性。采用平頂結(jié)構(gòu)，減少了與電子束蒸發(fā)源的粘附面積，實現(xiàn)了高可維護(hù)性。
    

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  • RFS-N 系列
    RFS-N 系列

    RFS-N 系列

    RFS-N 系列是 13.56MHz、0.5kW/1/kW/3kW/5kW 輸出射頻電源，用于等離子體處理。 配備高效射頻放大器，體積小、重量輕。
    此外，射頻電源具有內(nèi)置的自動匹配控制器功能，因此可以只用主機來控制射頻電源和匹配系統(tǒng)的功率。

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  • SG-10系列
    SG-10系列

    SG-10系列

    它專為等離子體生成而設(shè)計，例如 LF 電源、雙陰極濺射、等離子體 CVD 等，并且可以連續(xù)輸出 20 kHz 至 100 kHz 頻率的額定功率，用于等離子體負(fù)載。 它是一種高度可靠的電源，通過在設(shè)計中體現(xiàn)我們多年積累的專業(yè)知識，包括電源的應(yīng)用，非常適合等離子負(fù)載。

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  • DC PULSE 系列
    DC PULSE 系列

    DC PULSE 系列

    該電源在設(shè)定的周期內(nèi)反轉(zhuǎn)輸出電壓，并抵消目標(biāo)表面的電荷積累（充電），從而抑制異常放電并提高良率和吞吐量。

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