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研究開發向NLD干法刻蝕設備NLD-570
研究開發向NLD干法刻蝕設備NLD-570,是搭載了愛發科獨創的磁性中性線(NLD- Neutral Loop Discharge)等離子源的裝置,此NLD技術可實現產生低壓、低電子溫度、高密度的等離子。
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產品特性 / Product characteristics
•
NLD用于與ICP方式相比更低壓、高密度、更低電子溫度等離子體的石英、玻璃、水晶、LN/LT基板的加工。
•
高硬玻璃、硼硅酸玻璃等不純物的多種玻璃加工,在形狀或表面平滑性方面有優異的刻蝕性能。
•
石英及玻璃作為厚膜Resist Mask時的也可實現深度刻蝕(100μ m以上)。
•
可實現高速刻蝕(石英>1μ m/min、Pyrex>0.8μ m/min)
•
可追加cassette室。
產品應用 / Product application
•
光學器件(光衍射格子、変調器、光開關等等)、凹凸型微透鏡。流體路徑作成或光子學結晶。
產品參數 / Product parameters
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