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特征
1）無需冷卻水
強制風冷系統無需冷卻水
2）高可靠性
作為設備制造商積累的專有技術的反饋到設計"
3）易用性
操作面板采用 LCD 觸摸屏，提高了可操作性。
4）掃描波形變化
可創建 XY 掃描、波形編輯、特定區域停留重量控制、圓掃描、圓形式編輯、半徑、螺旋和其他各種光束掃描形式。
5）高速電弧關閉功能
高速電弧中斷可最大限度地減少沉積速率下降
6）低電平電弧控制功能(光學應用可選)
通過控制光學應用中產生的微小電弧，可以實現穩定的氣相沉積。
