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ULVAC的ULK型油擴(kuò)散泵,根據(jù)長年的研究、豐富的制造經(jīng)驗進(jìn)行設(shè)計生產(chǎn)。是一種較大臨界背壓設(shè)計的小型高真空排氣泵。
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