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蒸發設備

蒸發設備

批次式EI系列

批次式高真空ei系列，是一種在基板上制作金屬或氧化膜的設備。
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刻蝕設備

刻蝕設備

干法刻蝕設備

對應LED量產專用的干法刻蝕設備?NE-950EX?相對我司以往設備實現了140%的生產力。
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濺射設備

濺射設備

SMD 系列

SMD 系列是鍍金屬膜、ITO、IGZO、誘電體膜等的枚葉式濺射鍍膜設備。
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去膠設備

去膠設備

NA-1500

從關鍵的新世代晶圓制程到晶圓級封裝，Luminous NA系列可對應廣范圍的各類晶圓尺寸的各類工藝需求。
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離子注入設備

離子注入設備

高溫離子注入設備

搭載了高溫ESC（靜電吸附卡盤）的面向SiC量產用的高能粒子注入裝置。
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CVD設備

CVD設備

CC-200

CMD系列是用SiH4和TEOS成膜的a-Si膜、氧化硅膜、氮化膜成膜用的枚葉式CVD設備。
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真空泵

真空泵

干泵LS系列

愛發科擁有品類十分齊全的干泵、油泵、低溫泵、分子泵等等，并提供各種泵的問題診斷和維修服務。
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真空計

真空計

皮拉尼真空計 G-TRAN系列

包含了從大氣壓開始到真空為止測定的皮拉尼真空計。變送器型真空計是采用傳感器和計量回路一體設計（也有分離型），實現省裝置成本，省安裝空間，省配線的目的。
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檢漏儀

檢漏儀

檢漏儀HELIOT 900系列

愛發科的檢漏儀是可對應He檢漏的全部需求的全自動檢漏裝置。
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真空搬運機械手

真空搬運機械手

真空搬送機械手ELEC-RZ

愛發科作為技術和經驗豐富的真空器械廠家，愛發科的真空機械手是一種具有潔凈且信賴性高的搬送平臺。
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軟件

軟件

設備診斷系統 FABISEQ

通過FABISEQ可采集工藝設備的數據，在軟件上進行圖表顯示。通過設備數據的可視化，可調查發生不良的原因和經過，實現工藝安定性的觀察
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光學工藝模擬器

光學工藝模擬器

光學工藝模擬器Optius

通過測定等離子體的發光圖線，可實時監視各種各樣的等離子體工藝的狀況。最適用于反應性濺射的MFC控制和刻蝕的終點檢出等。
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高功能材料

高功能材料

Ta、Nb板

愛發科制的Ta、Nb板，粒徑精細而均一。因此，沖壓成品率高，沖壓加工后的表面粗糙少，可獲得強度、特性均一的金屬箔
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納米金屬油墨

納米金屬油墨

納米金屬油墨

愛發科特有的通過氣體中蒸發法制作的納米金屬油墨，不存在溶劑中凝集的現象，安定地分散的新型導電性油墨。通過噴墨打印法可直接形成微細配線的圖形。
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濺射靶材

濺射靶材

銅合金靶材

愛發科制造面向各種領域的濺射靶材，提供精制和精密加工的高功能材料、面向電極膜或配線等的薄膜精製和精密加工的噴墨打印設備的納米油墨等。
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