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• ULVAC uGmni 系列通用多工藝平臺--新刻蝕模塊發布
  2021-12-28
  超過800個modules的銷售實績 GaAs、InP、GaN、SiC等化合物半導體 SAW/BAW、功率器件等的金屬布線 Piezo-MEMS的PZT和AlScN等壓電膜
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• 第五屆粵港澳真空科技創新發展論壇暨廣東省真空學會2021年學術年會成功舉辦
  2021-11-25
  11月19-20日，以“新材料，新能源，新機會”為主題的廣東省真空學會2021年學術年會在廣州舉行。會議探討真空行業在新材料、新能源開發熱潮中的新機會。愛發科商貿（上海
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• 愛發科集團出展第23屆中國國際光電博覽會
  2021-09-20
  第23屆中國國際光電博覽會于9月16日至18日在深圳國際會展中心圓滿舉辦。展會分為信息通信、激光、紅外、紫外、精密光學、鏡頭及模組、光傳感等版塊，可以一站式了解光電產業
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• ULVAC面向5G通信器件的亞納米平坦化用離子修復設備"IM-2000"開始銷售
  2021-08-23
  ULVAC離子修復設備是面向5G高頻濾波器的，基于在SAW和BAW器件上形成的氧化硅膜和氮化硅膜的薄膜厚度數據，在亞納米范圍內控制薄膜厚度，實現±1.0nm以下的平坦度。
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• 愛發科集團出展第十六屆國際真空展覽會
  2021-05-28
  由中國真空學會主辦的第十六屆國際真空展覽會于2021年5月26-28日在北京國家會議中心舉行。
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意法半導體與A*STAR和ULVAC攜手合作，在新加坡成立世界首個“Lab-in-Fab”實驗室，推進壓電MEMS技術應用

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