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• 研究開發用中電流離子注入設備IMX-3500
  

  中電流離子注入裝置IMX-3500為最大能量200keV、對應最大晶圓尺寸8 inch的離子注入裝置，適用于大學等機構的研究開發。

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  若想了解更多請致電182-2185-4021

  • 產品特性 / Product characteristics

  • •       最大晶圓尺寸8 inch，搭載了可對應不定形基板的臺板。

    • 離子源，除Gas Source之外，另外可以使用安全方面更容易處理的B、P、As離子等固體蒸發源。
    • HV Terminal的部分，與量產裝置是同樣的構成，可確保高信賴性。
     

     

  • 產品應用 / Product application

  •  • 研究、開發等

  • 產品參數 / Product parameters
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