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• 量產(chǎn)用刻蝕設(shè)備NE-5700/NE-7800
  

  量產(chǎn)用刻蝕設(shè)備NE-5700/NE-7800是可以對應(yīng)單腔及多腔、重視性價比擁有擴(kuò)展性的刻蝕設(shè)備。

  購買咨詢

  若想了解更多請致電182-2185-4021

  • 產(chǎn)品特性 / Product characteristics

  •  •      除單腔之外，另可搭載有磁場ICP（ISM）或NLD等離子源、去膠腔體、CCP腔體等對應(yīng)多種刻蝕工藝。

     • 為實現(xiàn)制程再現(xiàn)性及安定性搭載了星型電極及各種調(diào)溫技能。

     • 擁有簡便的維護(hù)構(gòu)造，實現(xiàn)Downtime最短化，提供清洗、維護(hù)及人員訓(xùn)練服務(wù)等綜合性的售后服務(wù)體制。

     • 專門的半導(dǎo)體技術(shù)研究所會提供萬全的工藝支持體制。

     
  • 產(chǎn)品應(yīng)用 / Product application
  • • 化合物（LED或LD、高頻器件）或Power Device（IGBT配線加工、SiC加工）。
    • 金屬配線或?qū)娱g絕緣膜（樹脂類）、門電極加工工藝
    • 強(qiáng)電介質(zhì)材料或貴金屬刻蝕。
    • 磁性體材料加工。
     
  • 產(chǎn)品參數(shù) / Product parameters
• 產(chǎn)品系列

  • 設(shè)備(按類型分)
    蒸發(fā)設(shè)備 退火設(shè)備 蒸餾設(shè)備 氦檢漏設(shè)備 凍結(jié)干燥設(shè)備 卷繞設(shè)備 真空爐 CVD設(shè)備 離子注入設(shè)備 去膠設(shè)備 濺射設(shè)備 刻蝕設(shè)備 其他
  • 設(shè)備(按用途分)
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