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高密度等離子刻蝕裝置ULHITETM NE-7800H
高密度等離子客戶裝置ULHITE NE-7800H是對應刻蝕FeRAM、MRAM、ReRAM、PCRAM等器件所用的高難度刻蝕材料(強電介質層、貴金屬、磁性膜等)的Multi-Chamber型低壓高密度等離子刻蝕設備。
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產品特性 / Product characteristics
•
有磁場ICP(ISM)方式-可產生低圧?高密度plasma、為不揮發性材料加工的專用設備。
•
可提供對應從常溫到高溫(400ºC)的層積膜整體刻蝕、硬掩膜去除的刻蝕解決方案。
•
通過從腔體到排氣Line、DRP為止的均勻加熱來防止沉積物。
•
該設備采用可降低養護清洗并抑制partical產生的構造和材料及加熱機構,是在不揮發性材料的刻蝕方面擁有豐富經驗的量產裝置。
•
實現了長期的再現性、安定性
產品應用 / Product application
•
FeRAM, MRAM, ReRAM, CBRAM, PcRAM等.
產品參數 / Product parameters
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